至迟在魏孝文帝时，五台山已经发展成了文殊道场和北朝研习《华严经》的圣地。学习《华严经》的人们纷纷至五台山礼谒文殊，举行法会，著书释论，出现了灵辩及其弟子道昶、灵源、昙现等一大批华严学者。此外，五台山也出现了其他论师，如弘律的法聪、弘净土的昙鸾等。北齐是五台山佛教的第一个兴盛时期。
五台山佛教开始兴盛的过程，也就是《华严经》传入和文殊信仰开始发端的过程。至迟在魏孝文帝时，五台山已经发展成了文殊道场和北朝研习《华严经》的圣地。学习《华严经》的人们纷纷至五台山礼谒文殊，举行法会，著书释论，出现了灵辩及其弟子道昶、灵源、昙现等一大批华严学者。此外，五台山也出现了其他论师，如弘律的法聪、弘净土的昙鸾等。
北齐是五台山佛教的第一个兴盛时期。《古清凉传》载，北齐文宣帝高洋曾“割八州之税，以供(五台)山众衣药之资”，五台山寺院发展到200余所，现在五台山可考的北齐寺院还有近40所。北齐武成帝于河清三年(564)“诏慧藏法师讲六十《华严经》。次年，改五峰山为五台山，使六十《华严经》成为五台山的开山圣典，使五台山的华严学派得到更大发展。其时，在五台山盛传的还有涅盘学、禅学、律学、净土学等。之后的“周武灭法”之难，五台山佛教遭到废毁。
中国的四大佛地大体是在唐代确立，唐代五台山因“文殊信仰”的繁盛，寺院多达360多处，在相对宽泛的社会下佛教出现了百家争鸣的局面，名家高僧借鉴了过去经验与教训和在东晋南北朝时期出现的中国人对佛教义理的独特理解的六家七宗，大量的经书问世特别是高僧出访西域寻法。枝末分裂的八宗《华严、天台、三论、净土、密、律、慈恩》的出现标志着佛教完成了中国本土化使佛教成为中国文化的一部分，在这一时期出现了许都高僧比如华严四祖澄观国师在五台山显通寺驻锡十载翻译了《大方广佛华严经疏》八十华严的翻译系统的阐述了佛理也吸收中华的优良精华，特别是他写的《经疏》明确山西五台即为文殊道场，《在现在五台山的每座寺院中都供奉特别是显通寺七处九会殿内供有五百罗汉在明十三层多宝佛塔对面灵窗上就供奉华严澄观国师塑像》……在这一时期唐文成公主和尼泊尔的尺尊公主入藏，印度的原始宗教婆罗门再度兴起大批佛学大师翻过喜马拉雅来到西藏地区与藏地崇信的苯教相互竞争融合，特别是莲花生大师带领着25弟子入藏改变了当时的佛苯不合使得许多藏民归信佛教，并确定了修行密宗不休禅的思想，莲花生大师也就是藏传佛教的创始人《在今五台菩萨顶文殊殿左侧的大殿就供奉着莲花生大师》藏传佛可以分为前、后弘期。